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真空步進(jìn)電機(jī)采用全新的設(shè)計，選用適合的材料，通過新的生產(chǎn)工藝完成對特殊電機(jī)的制造、檢驗。低溫-196℃，高溫+200℃，真空度優(yōu)于10-7Pa。標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計28、42、57、86框號兩相四線制混合式步進(jìn)電機(jī)，還可依需要定制其他規(guī)格馬達(dá)，或定制耐輻射、抗霉菌、耐沖擊、出軸形式等特殊需求。

真空伺服電機(jī)采用全新的設(shè)計，選用適合的材料，通過新的生產(chǎn)工藝完成對特殊電機(jī)的制造、檢驗。真空伺服電機(jī)特點(diǎn)：標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計生產(chǎn)100～750W產(chǎn)品，可定做其他規(guī)格工作環(huán)境溫度-196℃至+200℃，線圈溫度達(dá)300℃，適應(yīng)真空10-7pa，可提供低壓直流和高壓交流旋轉(zhuǎn) 可選配內(nèi)置溫度傳感器。

真空模組，可以在10^-7Pa的真空環(huán)境下運(yùn)行，耐溫達(dá)200℃，真空模組的設(shè)計首要考慮機(jī)構(gòu)和材料。此系列產(chǎn)品大部分組件采用不銹鋼加工或熱膨脹系數(shù)相當(dāng)?shù)牟⑶页鰵饴实椎牟牧?。此系列產(chǎn)品主要應(yīng)用于真空室，高溫室，高潔凈度環(huán)境。

德國Phytron真空電機(jī)（VSS / VSH）是空間技術(shù)30多年經(jīng)驗的成熟結(jié)果。兩相混合式步進(jìn)電機(jī)的特殊設(shè)計專為高達(dá)10-11hPa的真空應(yīng)用而設(shè)計。適用于特殊環(huán)境條件，如低溫和高溫或極端輻射強(qiáng)度。