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雷尼紹高精度直線光柵RELM

雷尼紹高精度直線光柵RELM系列精度達(dá)±1 μm，分辨率達(dá)5 nm，周期誤差為±30 nm，雙向可重復(fù)IN-TRAC光學(xué)參考零位 。

    雷尼紹SiGNUM RELM高精度直線光柵

    • 堅(jiān)固的20 μm柵距因鋼柵尺

    • 精度達(dá)±1 μm，分辨率達(dá)5 nm，周期誤差為±30 nm

    • 雙向可重復(fù)IN-TRAC光學(xué)參考零位 


    雷尼紹直線光柵RELM高精度直線光柵重新定義了光柵的性能，具有高速、可靠、非接觸的性能，它還具有IN-TRAC內(nèi)置刻劃光學(xué)零位等先進(jìn)功能，它的系統(tǒng)由SR讀數(shù)頭、Si細(xì)分盒和RELM 20 μm柵距的因鋼柵尺組成。雷尼紹高精度直線光柵RELM極為堅(jiān)固，其優(yōu)異的性能可與價(jià)格昂貴、柵距更小的光柵系統(tǒng)媲美。它的精度達(dá)±1μm，膨脹系數(shù)~0.6μm/m/°C（0℃至30℃），分辨率達(dá)5nm，能夠滿足苛刻的精密運(yùn)動(dòng)的需 求。SR讀數(shù)頭工作速度達(dá)12.5m/s ，它采用了雷尼紹獨(dú)特的光學(xué)濾波裝置，具有極佳的抗污垢、灰塵和劃傷的能 力。參考零位的位置可設(shè)在柵尺的中 心（RELM）或距柵尺端點(diǎn)20mm處(RELE)。 


    為何使用RELM? 

    • IN-TRAC內(nèi)置刻劃光學(xué)零位具有雙 向、可重復(fù)功能，甚至可以實(shí)現(xiàn)最高速度（12.5 m/s）。 

    • 動(dòng)態(tài)信號(hào)控制確保了電子細(xì)分誤差小于±30nm。如今，20um柵距的光柵系統(tǒng)也能實(shí)現(xiàn)以前只有小柵距光柵才能達(dá)到的性能水準(zhǔn)，另外它還具有抗灰塵和安裝簡(jiǎn)便的特點(diǎn)。

    • RELM柵尺由一種堅(jiān)固、低膨脹的穩(wěn)定 合金 — 因鋼制成，操作和安裝都很方 便。

    • 高精度（達(dá)±1um）和低熱膨脹系數(shù)（<1.4μm/m/°C）使RELM因鋼柵尺 適用于最精密的運(yùn)動(dòng)應(yīng)用。

    • 安裝方便。可使用機(jī)械夾具或背面自帶的特殊配方不干膠直接安裝在底 層。 

    • 內(nèi)置的安裝指示燈和功能全面的 SiGNUM軟件使安裝快捷簡(jiǎn)單，從而實(shí)現(xiàn)最佳性能，并可方便地對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行診斷。 

    • 雙光學(xué)限位可在柵尺上提供行程終點(diǎn) 指示。